出版社別 | 丸善出版
商品コード：
9784621087008
試料分析講座 半導体・電子材料分析
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52
Pt
(公社)日本分析化学会 編
A5判 328頁
2013/7/19
丸善出版 刊行
目次
1 半導体・電子材料の分析
2 誘導結合プラズマ質量分析(ICP-MS)
3 誘導結合プラズマ発光分光分析(ICP-AES)
4 二次イオン質量分析(SIMS)
5 蛍光X線分析(XRF)
6 三次元アトムプローブ(APT)
7 走査電子顕微鏡(SEM)
8 測長走査電子顕微鏡(測長SEM)
9 透過電子顕微鏡(TEM)
10 走査プローブ顕微鏡(SPM)
11 ラザフォード後方散乱分析(RBS)と弾性反跳検出分析(ERDA)
12 X線反射率
13 陽電子消滅
14 オージェ電子分光法(AES)とX線光電子分光法(XPS)
索引
