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書籍 | 光学薄膜

光学薄膜の基礎理論 増補改訂版
商品コード: 9784902312485

光学薄膜の基礎理論 増補改訂版

販売価格(税込) 5,184 円
ポイント: 51 Pt
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小檜山光信
B5判 338頁
2011/2/21
待望の増補改訂版!
オプトロニクス社

概要

刊行趣旨
光学薄膜を理解するのに最低限必要な波動の知識、フレネル係数の基礎、フレネル係数による多層膜の計算、特性マトリックスによる計算、基板や薄膜の光学定数の測定、光学モニターの光量変化の計算についてできるだけ具体的に解説した光学薄膜のバイブル!

読者対象
これから光学薄膜を勉強する人、実際に研究・生産に従事している技術者

著者紹介
1947年生まれ。東京電機大学大学院工学研究科卒。真空器械工業。日本バルザース、伯東を経て、1996年、光学薄膜専門の技術コンサルタント企業、テックウェーブを設立、代表取締役に就任、現在に至る。

目次

※増補改訂版には付録CD-ROMはついておりません。

サンプルページを見る
※PDFファイル 約 5.6 MB


・分光透過率・反射率に大きな影響を及ぼす基板の面精度と面粗さに関する章を新たに追加(第7章)

・光学定数の章では計算に必要な式をまとめ、EXCELによる基板や薄膜の光学定数の計算例を式の番号とともに記載(第5章)

・特性マトリクスによる多層膜フィルターの分光特性計算プログラムのアルゴリズムを丁寧に解説し、そのリストを付録として掲載(付録C)



第1章 光学薄膜のための基礎
 1. 波動の表現
 2. 単振動
 3. 波動関数
 4. 位相速度と群速度
 5. 誘電体と屈折率
 6. スネルの法則と波長分散
 7. 光学膜厚
 8. 偏光

第2章 フレネル係数
 1. 垂直入射
 2. 斜入射
 3. 吸収媒質への垂直入射
 4. 吸収媒質への斜入射
 5. 吸収基板の裏面反射を考慮した反射率、透過率
  5.1 垂直入射
  5.2 斜入射
 6. まとめ
  6.1 垂直入射
  6.2 斜入射
  6.3 吸収媒質への垂直入射
  6.4 吸収媒質への斜入射
  6.5 基板の裏面反射を考慮した反射率、透過率

第3章 単層薄膜
 1. 垂直入射
  1.1 反射率、透過率および位相変化
  1.2 分光特性
  1.3 成膜時の反射率、透過率および位相変化
 2. 斜入射
 3. 吸収単層膜への垂直入射
 4. 吸収単層膜への斜入射
 5. 特性マトリクスによる計算
  5.1 垂直入射
  5.2 斜入射
  5.3 吸収単層膜への垂直入射
  5.4 吸収単層膜への斜入射

第4章 多層薄膜
  1. 垂直入射
   1.1 吸収がない場合
   1.2 吸収がある場合
  2. 斜入射
  3. 基板の裏面反射を考慮した分光特性
  3.1 基板の内部透過率Ti
  3.2 基板から薄膜への反射率Rg
  3.3 多重繰り返し反射
 4. 特性マトリクスによる計算
  4.1 垂直入射、斜入射
  4.2 吸収多層膜への垂直入射
  4.3 吸収多層膜への斜入射
  4.4 特性マトリクスの性質および演算

第5章 光学定数の測定
 1. 分光特性測定上の注意
  1.1 サンプル
  1.2 分光器
 2. 分光器による基板の光学定数の測定
  2.1 透明基板
   ・片面マット基板の反射率から
   ・両面研磨基板の反射率、透過率から
  2.2 吸収基板
 3. 分光器による薄膜の光学定数の測定
  3.1 透明薄膜
  3.2 若干の吸収がある均質薄膜
  3.3 若干の吸収がある不均質膜
  3.4 金属薄膜
   ・透過率、反射率、膜厚から
   ・反射率から
   ・金属膜+SiO2薄膜の反射率から
  3.5 半導体Si薄膜
   ・グラフ法
   ・最適設計
 4. 光学モニターによるin-situ測定
  4.1 透明薄膜
  4.2 金属薄膜
 5. まとめ NEW!!
  5.1 分光器による基板の屈折率
  5.2 分光器による透明薄膜の屈折率

第6章 光学モニターの光量変化
 1. 光学モニター
 2. 光量変化計算の理論
  2.1 装置下部からの測光方式
  2.2 装置上部からの測光方式
 3. プログラム作成上の留意点
 4. 計算プログラム

第7章 基板の面精度と面粗さ NEW!!
 1. 基板の面精度
  1.1 面精度の定義
  1.2 ニュートン・リング
   ・球面の場合
   ・平面の場合
 2. 基板の面粗さ
  2.1 面粗さ
  2.2 基板の面粗さと反射率
  2.3 粗さのある透明な薄膜の反射率
   ・薄膜の粗さの取扱いにつて
   ・単層膜
   ・各界面の粗さが同一な多層膜
 3. 面粗さの規格
  3.1 MIL規格
  3.2 ANSI/OEOSC規格
  3.3 ISO規格

付録
  A:フレネル係数による分光特性計算プログラムリスト
  B:フレネル係数による分光特性計算プログラムの主な変数解説
  C:特性マトリクスによる分光特性計算プログラムリスト NEW!!
  D:光学モニターの光量変化計算プログラムリスト
  E:三角関数・双曲線関数の公式
  F:ギリシャ文字の読み方
  G:SI接頭語

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